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DESENVOLVIMENTO DE UMA MICROBOMBA DE DIAFRAGMA COM ATUADOR PIEZOELÉTRICO

Authors:

Abstract and Figures

As técnicas, métodos e procedimentos de diagnóstico de doenças, patógenos e contaminantes na área da medicina, indústria de alimentos e monitoramento ambiental, são realizadas normalmente em laboratórios de grandes universidades, empresas e órgãos governamentais com um grande custo associado. Para minimizar custos e aumentar a eficiência do diagnostico foram construídos equipamentos miniaturizados de analises. O uso de amostras pequenas de analito (inferior 2ml), reduz o custo operacional do diagnóstico, em virtude das substâncias químicas especificas como reagentes e bio-marcadores serem geralmente importados a um alto custo financeiro. Uma parte fundamental deste tipo de equipamento para análise clinicas são os sistemas de propulsão de fluxo, capazes de transportar pequenas quantidades de amostra a uma taxa de fluxo suficientemente baixa e controlada. Neste contexto, o presente trabalho apresenta o desenvolvimento de uma microbomba de diafragma acionada por um atuador piezoeletrico de baixo custo, que utiliza o principio bocal/difusor e permite uma vazão controlada. No futuro, pretende-se que essa microbomba possa compor o sistema de propulsão de fluxo de um equipamento de diagnostico.
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DESENVOLVIMENTO DE UMA MICROBOMBA DE DIAFRAGMA COM
ATUADOR PIEZOELÉTRICO
Angelo Emiliavaca, angelosite2003@hotmail.com1
Arlindo Garcia de Sá Barreto Neto, arlindo.neto@ee.ufcg.edu.br2
Carlos José de Araújo, carlos@dem.ufcg.edu.br1
Antonio Marcus Nogueira Lima, amnlima@ee.ufcg.edu.br3
Cícero da Rocha Souto, cicerosouto@ct.ufpb.br4
1Universidade Federal de Campina Grande UFCG, Unidade Acadêmica de Engenharia Mecânica UAEM, Av.
Aprígio Veloso, 882, Bairro Universitário, CEP: 58429-140, Campina Grande PB, Brasil.
2Instituto Federal da Paraiba-IFPB, Unidade Acadêmica de Eletromecânica, José Antonio da Silva, 300, Cajazeiras-PB,
Brasil.
3Universidade Federal de Campina Grande UFCG, Unidade Acadêmica de Engenharia Elétrica UAEE, Av. Aprígio
Veloso, 882, Bairro Universitário, CEP: 58429-140, Campina Grande PB, Brasil.
4Universidade Federal da Paraíba UFPB, Departamento de Engenharia Elétrica DEE, Cidade Universitária, João
Pessoa PB, Brasil.
Resumo: As técnicas, métodos e procedimentos de diagnóstico de doenças, patógenos e contaminantes na área da
medicina, indústria de alimentos e monitoramento ambiental, são realizadas normalmente em laboratórios de grandes
universidades, empresas e órgãos governamentais com um grande custo associado. Para minimizar custos e aumentar
a eficiência do diagnostico foram construídos equipamentos miniaturizados de analises. O uso de amostras pequenas
de analito (inferior 2ml), reduz o custo operacional do diagnóstico, em virtude das substâncias químicas especificas
como reagentes e bio-marcadores serem geralmente importados a um alto custo financeiro. Uma parte fundamental
deste tipo de equipamento para análise clinicas são os sistemas de propulsão de fluxo, capazes de transportar
pequenas quantidades de amostra a uma taxa de fluxo suficientemente baixa e controlada. Neste contexto, o presente
trabalho apresenta o desenvolvimento de uma microbomba de diafragma acionada por um atuador piezoeletrico de
baixo custo, que utiliza o principio bocal/difusor e permite uma vazão controlada. No futuro, pretende-se que essa
microbomba possa compor o sistema de propulsão de fluxo de um equipamento de diagnostico.
Palavras-chave: Microbomba, Bomba de Diafragma, Cerâmica Piezoelétrica .
1. INTRODUÇÃO
Uma bomba hidráulica é definida como um dispositivo que transfere energia de movimento aos fluidos, ou seja,
transfere uma massa fluídica de um ponto a outro. Os relatos históricos mais antigos tratam que os babilônios já usavam
um dispositivo para efetuar o bombeamento de água para pequenas elevações. Entretanto, a primeira bomba realmente
catalogada foi projetada por Arquimedes a 250 A.C. Até hoje, o principio físico da bomba de Arquimedes é usado para
transportar grandes volumes como, por exemplo, em estações de tratamento de esgoto (Barros, 2003). Com o passar do
tempo, várias tipos de bombas, com diferentes dimensões, tem sido desenvolvidas com diferentes mecanismos de
bombeamento para diversas aplicações.
No contexto das microbombas, desde a concepção do primeiro circuito integrado inventado por Kilby (vencedor do
prêmio Nobel de Física em 1998) (Kilby, 2000), o princípio de miniaturização tornou-se um importante tópico de
pesquisa para dispositivos eletrônicos e não eletrônicos (Chu, 2008). Uma das primeiras microbombas registradas na
literatura foi apresentada por Steen em 1969 (Steen; Iversen, 1969). Essa bomba, do tipo peristáltica, consistia de um
tubo flexível com duas válvulas unidirecionais com a compressão do tubo realizada por um sistema hidráulico. A
bomba projetada por Steen foi destinada ao processo de infusão, apresentando uma versatilidade em relação à taxa de
fluxo, pressão, freqüência, e ainda mais importante foi o não surgimento de hemólise no processo de infusão.
Desde então, a introdução de agentes farmacológicos no corpo humano tem sido objeto inicial de muitas pesquisas
em microbombas. Outras aplicações médicas também fazem uso de microbombas, como por exemplo, no tratamento de
quimioterapia, e na infusão intravenosa de medicamentos para tratamentos críticos como o da diabetes. No entanto, as
microbombas possuem aplicações em muitas outras áreas como, por exemplo, a utilização em sistemas de refrigeração
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de circuitos micro eletrônicos (Tuckerman; Pease, 1981; Laser; Santiago, 2004), e mais recentemente em sistemas
miniaturizados para análises químicas e bioquímicas (Laser; Santiago, 2004; Nisar et al., 2008; Wong et al., 2002).
A principal tecnologia que propiciou o desenvolvimento das microbombas e outros dispositivos miniaturizados foi
o uso de MEMS (Micro ElectroMechanical Systems), que de forma geral possibilitou miniaturizar sistemas mecânicos,
eletromecânicos, fluídicos, óticos ou térmicos em escala de submicro, utilizando as técnicas de micro fabricação
(Maillefer et al., 2001). O desenvolvimento das microbombas segue o desenvolvimento da tecnologia de MEMS no
processo de micro fabricação, seleção do material, manufatura das válvulas de retenção de fluxo, e escolha do princípio
de bombeamento (Laser; Santiago, 2004; A.Nisar et al., 2008). Esta tecnologia permitiu a confecção de microbombas
sem partes móveis, ou seja, as válvulas ativas (móveis) foram substituídas por válvulas passivas (bocal/difusor) que
para os dispositivos em micro escala são mais apropriados, pois sem partes móveis o micro dispositivo fica menos
suscetível a defeitos. O processo de fabricação da microbomba (válvulas, micro canais, câmara de bombeamento)
consiste de etapas críticas, necessitando de técnicas sofisticadas como os processos de micro usinagem ou litográficos
(litografia por raios-X (LIGA), a litografia "soft", a litografia por feixe de elétrons ou a litografia com radiação
ultravioleta (UV)) (Chen; Pepin, 2001).
Por indisponibilidade de tais técnicas de construção optou-se pelo processo de prototipagem rápida para construção
das peças da bomba desenvolvidas neste trabalho.
Baseado no estudo relacionado com as microbombas, este trabalho apresenta o desenvolvimento de uma
microbomba usando como diafragma um disco metálico acionado por uma cerâmica piezoelétrica de baixo custo e
disponível comercialmente no mercado local. São apresentados o detalhamento do projeto e a caracterização da bomba
relacionando vazão e freqüência de acionamento. No futuro, pretende-se que essa microbomba possa compor o sistema
de propulsão de fluxo de um equipamento de diagnostico em fase de desenvolvimento na UFCG.
2. MATERIAIS E MÉTODOS
2.1. Atuador piezoelétrico
O material piezoelétrico tem a propriedade de sofrer deformação na presença de um campo elétrico externo, e
inversamente gerar um campo elétrico quando submetido a uma deformação. Para a cerâmica piezoelétrica de Zirconato
Titanato de Chumbo (PZT), denomina da simplesmente por PZT, a tensão gerada nos seus terminais está correlacionada
com a deformação aplicada. Da mesma forma, o PZT exibe o efeito inverso, no qual a deflexão sofrida pela cerâmica,
w(r), depende do campo elétrico aplicado. A Figura (1) ilustra essa propriedade em um atuador PZT do tipo membrana.
O sentido da deflexão é dado pela polarização da fonte de tensão, ou seja, caso seja aplicado uma tensão alternada
(senoidal ou degrau), a membrana passiva será deslocada na direção transversal em ambos os sentidos (para cima e para
baixo), podendo esse movimento alternado do atuador ser utilizado para sucção e bombeamento de fluido, devido a
variação do volume interno produzido em uma câmara pelo atuador.
Figura 1. Funcionamento de uma membrana piezoelétrica. (a) Membrana metálica com PZT colado. (b)
Movimento da membrana quando acionada.
O atuador piezoelétrico de PZT usado neste trabalho é composto por uma membrana metálica de latão com uma
cerâmica piezoelétrica colada em sua superfície, conforme ilustra a Fig. (1a).
O deslocamento w(r) típico para elementos piezoelétricos é inferior a 1 mm, entretanto a tensão de alimentação
necessária para promover esse deslocamento é relativamente elevada, entre 30 V e 100 V. Para alimentar o atuador foi
necessário projetar um circuito oscilador e elevador de tensão elétrica no qual fosse possível variar a freqüência de
oscilação. Para projetar o circuito foi necessário primeiramente caracterizar o deslocamento produzido pelo atuador em
função da tensão aplicada. Para tanto, foi montado um procedimento experimental usando interferometria laser para
avaliar com exatidão o micro deslocamento do atuador PZT, conforme ilustra a Fig. (2). O laser usado foi o de Hélio-
Neônio (He-Ne) com comprimento de onda de 632,8 ηm. O atuador PZT teve suas extremidades fixadas para aplicação
de uma variação de tensão na faixa de 10 V a 150 V. Usando a montagem da Fig. (2), a deflexão estática do atuador
PZT é medida usando medido no anteparo do interferômetro.
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Figura 2. Diagrama do Interferômetro de Michelson (He-Ne) usado para medir o deslocamento do atuador PZT
A Figura (3) mostra o comportamento do deslocamento (medido na parte central do atuador PZT) em função da
tensão aplicada. Observa-se um comportamento aproximadamente linear, implicando que esta faixa de tensão aplicada
não satura o campo elétrico interno, ou seja, não irá provocar o rompimento da rigidez dielétrica do material. O máximo
deslocamento obtido foi de 36 ηm para 150 V.
020 40 60 80 100 120 140 160
0
5
10
15
20
25
30
35
40
Tensão aplicada (v)
Deslocamento (10 -6 m)
Figura 3. Deslocamento do atuador medido com o arranjo da Fig. (2).
Desta forma, foi possível confeccionar um circuito elétrico capaz de variar a freqüência de 0 a100 Hz para a tensão
de alimentação variando entre 0 e 150 V. Conforme mostrado na Fig. (3), valores diferentes de tensão produzem no
atuador diferentes deslocamentos, e, portanto, podem ser usados como forma de controle da vazão da bomba PZT, uma
vez que o volume transportado também é função do deslocamento da membrana.
Ressalta-se que o atuador PZT usado neste trabalho, e ilustrado na Fig. (1a), foi adquirido no comércio local e suas
dimensões aproximadas são:
Diâmetro e espessura da membrana de latão: 35 mm e 0,6 mm, respectivamente;
Diâmetro da região em PZT: 29 mm;
Espessura do disco PZT-cola: 0,03 mm.
2.2. Bomba piezoelétrica
A maioria das bombas e microbombas alternativas usam uma superfície deformável, denominada de diafragma ou
membrana, utilizada para comprimir ou expandir o volume de uma câmara, conforme ilustrado na Fig. (4) para o caso
de um acionamento por disco de PZT (Stemme; Stemme, 1993). Além do diafragma, estas bombas possuem outros
componentes, tais como: câmara de bombeamento, mecanismos de atuação e válvulas.
Figura 4. Ilustração das partes componentes de uma bomba de fluxo típica acionada por atuador de PZT.
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O ciclo de funcionamento da bomba ilustrada na Fig. (4) é mostrado na Fig. (5) e tem apenas dois estágios: o
estágio de sucção, onde o fluido entra na bomba devido a uma diferença de pressão (ΔPi<ΔPo) com a entrada (inlet)
funcionando como difusor e a saída (outlet) funcionando como bocal (Fig. (5a)). Durante o estágio de bombeamento
(durante a compressão), onde o fluido é transportado devido à diferença de pressão ( ΔPi>ΔPo) no qual a saída agora irá
funcionar como difusor e a entrada como bocal (Fig. (5b)). A queda de pressão na direção do difusor é menor que na
direção do bocal, assim o volume de fluido transportado pelo difusor será maior que o transportado pelo bocal ( Φi> Φo)
no modo de sucção. Para o modo de bombeamento ocorre o inverso, a saída funcionará como difusor e o volume de
fluido transportado será maior que o da entrada (Φi< Φo). Assim, para um ciclo completo de funcionamento, o fluxo de
líquido transportado pela bomba corresponderá a diferença entre os dois modos de operação.
Figura 5. Esquema de operação da bomba com o bocal/difusor. (a) Modo de sucção. (b) Modo de
bombeamento. (c) Diferença de pressão sobre o difusor. (d) Diferença de pressão sobre o bocal.
2.3. Dimensionamento dos elementos bocal e difusor
Para o dimensionamento de difusores cônicos, o gráfico da Fig. (6) pode ser usado como referência para a seleção
do ângulo de abertura (θ) que leva a uma menor perda de pressão no difusor. Para um difusor do tipo cônico observa-se
que a uma menor perda acontece para um ângulo de abertura 2θ de aproximadamente 5°. Sendo assim, admitindo o
diâmetro menor (d) de 1 mm e o diâmetro maior (D) com 2 mm, é possível calcular, com o uso de trigonometria básica,
um comprimento (L) de 11 mm. Com o auxilio do mapa da Fig. (7) é possível calcular o coeficiente de recuperação de
perdas (CP), usando a relação de área (AR = (πD2/4) / (πd2/4)). Para um melhor desempenho do difusor, o valor de CP
precisa ser o maior possível, entretanto, existe a necessidade de se fazer adequações em relação ao rendimento desejado
e o projeto de manufatura.
Figura 6. Perdas de fluxo em uma região de expansão gradual cônica (Olsson, 1998).
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Figura 7. Mapa de projeto para o difusor cônico (Olsson, 1998).
2.4. Construção do protótipo da microbomba
Com as características básicas e o método de calculo descrito na seção 2.3, obteve-se uma válvula difusor com
2θ=5°; d=1mm; D=2mm e L=11mm. Estas características garantem um Cp de aproximadamente 0,63, como pode ser
constatado na Fig. (7), além de uma perda de fluxo K≡0,2. Além destes parâmetros, foram utilizados uma distância
entre a entrada e a saída de 10 mm e uma câmara com diâmetro ϕ=30 mm e altura h=1 mm, originando um volume
interno de aproximadamente 707 mm³.
Após definidas as variáveis dimensionais do protótipo, uma microbomba com estas características foi projetada em
ambiente CAD, contendo uma válvula de fluxo com uma esfera de 2,5 mm de diâmetro para avaliar o aumento do fluxo
resultante do bombeamento. A Figura (8) mostra uma vista em corte da microbomba projetada. Na Figura (8a) é
apresentada a montagem da microbomba aplicando apenas o principio bocal/difusor enquanto na Fig. (8b) mostra-se o
principio bocal/difusor associado em série com uma válvula de fluxo do tipo esfera.
(a) (b)
Figura 8. Vista em corte do protótipo construído em CAD. (a) Apenas bocal/difusor. (b) Bocal/difusor com
válvula de fluxo.
É importante destacar que na configuração simples, sem válvula de fluxo, utilizando apenas o principio bocal
difusor, a microbomba não teve diferença de pressão suficiente para succionar o fluido. com a válvula de fluxo
fechando a saída o fluido é succionado permanecendo na câmera da bomba sendo expulso no ciclo de bombeamento.
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A partir do projeto em CAD foi possível construir um protótipo de teste usando o processo de fabricação de
prototipagem rápida pelo método de Modelagem por Deposição de Material Fundido, através de uma impressora
tridimensional, modelo Dimension Elite da Stratasys®. Para este projeto a resina termoplástica empregada foi a ABS
plus, tornando possível a construção da estrutura que compreende o bocal/difusor, a tampa e a válvula. A esfera usada
na válvula de fluxo da Fig. (8b) é de aço inoxidável, encontrada no comercio local.
3. RESULTADOS E DISCUSSÕES
Para caracterização da microbomba relacionando a vazão com a freqüência de acionamento, foi montada uma
plataforma experimental composta de um circuito oscilador (gerador de sinais), fonte de tensão continua, osciloscópio,
balança de precisão e reservatórios graduados, como mostra o esquema da Fig. (9).
Figura 9. Plataforma experimental para caracterização da microbomba PZT.
O procedimento experimental adotado consistiu em fazer variar a freqüência de oscilação da membrana metálica a
partir do valor mínimo possível até a freqüência na qual haveria estagnação do fluxo (vazão zero). Os outros parâmetros
importantes foram mantidos fixos com os valores descritos a seguir:
Altura de sucção Hs = -20 mm (desnível medido entre a altura do fluido no reservatório e a membrana de latão);
Altura de recalque Hr = 40 mm (desnível medido entre a membrana de latão e a altura até a descarga livre);
Amplitude de tensão aplicada sobre o atuador piezoelétrico: Vo = 150 V;
Fluido em circulação: água com densidade de 997 mg/cm³.
Fixando estes parâmetros e variando a freqüência gradualmente de 5 Hz (mínimo) até a freqüência onde o fluxo se
estagna, com um passo de 0,5 Hz, variando no potenciômetro do circuito e verificando no osciloscópio. Para determinar
o valor da vazão foram feitas aferições da massa do béquer vazio antes de ser utilizado como reservatório no recalque e
posterior aferição da massa de fluido bombeado após um tempo fixo. Assim, verificava-se a variação de massa que é
diretamente proporcional ao volume. Aplicando esta variação de volume no tempo, obteve-se a vazão para cada
freqüência. Esse procedimento foi repetido em toda a faixa de freqüência analisada. Na Figura (10) é apresentado o
comportamento da vazão com a variação da freqüência de funcionamento. A curva na cor azul mostra o resultado da
vazão da microbomba com a válvula de retenção de fluxo instalada, na curva na cor verde a válvula de fluxo foi
retirada e a bomba funcionou apenas com o bocal/difusor. Como foi aplicada a amplitude de tensão máxima, obteve-se
a vazão máxima da microbomba.
0 5 10 15 20 25 30
0
5
10
15
20
Frequêcia (Hz)
Vazão (ml/min)
Com válvula
Sem válvula
Figura 10. Curva de vazão da microbomba em função da freqüência do sinal de tensão aplicado ao atuador PZT.
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É possível observar no gráfico da Fig. (10) a mesma faixa de operação em relação à freqüência para a microbomba
sem a válvula de fluxo e com a válvula, no entanto os comportamentos são completamente distintos. A curva da vazão
sem a válvula de fluxo é mais suave e o aumento na vazão é aproximadamente proporcional a variação da freqüência
até se atingir um patamar onde a vazão praticamente se mantém constante em torno de 2,8 ml/min para uma faixa de
freqüência entre 12 Hz e 16 Hz. A partir deste ponto a vazão começa a cair e esse declínio é também praticamente
proporcional a variação da freqüência. Por outro lado, o comportamento da vazão com a válvula de fluxo apresentou
crescimento até atingir a vazão máxima de 18,3 ml/min para uma freqüência de 16 Hz. Em seguida, com o aumento da
freqüência, a vazão passou a cair até um valor mínimo de 0,66 ml/min (com válvula) e 0,45 ml/min (sem válvula) na
freqüência de bombeamento de 27 Hz.
4. CONCLUSÃO
Considerando os resultados preliminares obtidos neste trabalho, comprovou-se que existe viabilidade no uso de um
atuador piezoelétrico simples e de baixo custo para confecção de microbombas alternativas de diafragma.
O protótipo de microbomba de diafragma com atuador piezoeletrico apresentou valores de vazão compatíveis com
o previsto na literatura (Olsson, 1998) que aponta para microbombas que aplicam apenas o principio bocal/difusor,
vazão máxima situada entre 1,946 e 2,285 ml/min. A versão mais simples da microbomba apresentada neste trabalho
tem uma vazão máxima de aproximadamente 2,810 ml/min, com a alternativa de ser possível aumentar a sua eficiência
e, conseqüentemente, a vazão, pelo uso de uma válvula de fluxo que eleva a vazão máxima em aproximadamente cinco
vezes.
Adicionalmente, a microbomba de diafragma a base de atuador PZT com as características de vazão mencionadas
apresentou um consumo de energia elétrica de aproximadamente 21 W, atendendo ainda a necessidade de controle da
vazão de duas possíveis formas: a primeira pelo controle da freqüência de atuação do elemento piezoelétrico, que foi a
forma abordada neste trabalho, e a segunda pelo controle da tensão aplicada sobre o elemento piezoelétrico,
aumentando ou reduzindo a deformação do mesmo, e conseqüentemente aumentando ou reduzindo a vazão. Este
controle possibilita uma futura aplicação do protótipo desenvolvido para a propulsão de fluxo em diversos sistemas,
como os de análises clinicas, por exemplo.
5. AGRADECIMENTOS
Os autores agradecem ao CNPq pelo financiamento dos projetos: INCT de Estruturas Inteligentes em Engenharia
(Processo no 574001/2008-5) e Bolsa PIBITI/UFCG a Angelo Emiliavaca.
6. REFERÊNCIAS
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Chu, K. H. Effects of shear rate and small periodic corrugation on the slip velocity in microscopic domain.
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Kilby, J. S. The integrated curcuit´s early history. In: . [S.l.: s.n.], 2000. p. 109111.
Laser, D. J.; Santiago. A review of micropump. Journal of Micromechanics and Microengineering, v. 14, n. 6, p. 3564,
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Olsson, A. http://144.206.159.178/ft/944/31887/554074.pdf School of Electrical Engineering, Royal Institute of
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Stemme, E.; Stemme, G. A valveless diuser/nozzle-based fluid pump. Sensors and Actuators, Volume 39, p. 159163,
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Tuckerman, D. B.; Pease, I. E. D. R. F. W. High-performance heat sinking for VLSI. 1981.
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ASME Conference Proceedings, ASME, v. 2002, n. 36576, p. 477485, 2002.
7. DIREITOS AUTORAIS
Os autores são os únicos responsáveis pelo conteúdo do material impresso incluídos neste trabalho.
DEVELOPMENT OF A DIAPHRAGM MICROPUMP USING
PIEZOELETRIC ACTUATOR
Angelo Emiliavaca, angelosite2003@hotmail.com1
Arlindo Garcia de Sá Barreto Neto, arlindo.neto@ee.ufcg.edu.br2
Carlos José de Araújo, carlos@dem.ufcg.edu.br1
Antonio Marcus Nogueira Lima, amnlima@ee.ufcg.edu.br3
Cícero da Rocha Souto, cicerosouto@ct.ufpb.br4
1Universidade Federal da Campina Grande UFCG, Unidade Acadêmica de Engenharia Mecânica UAEM, Av.
Aprígio Veloso, 882, Bairro Universitário, CEP: 58429-140, Campina Grande PB, Brasil.
2Instituto Federal da Paraiba-IFPB, Unidade Acadêmica de Eletromecânica, José Antonio da Silva, 300, Cajazeiras-PB,
Brasil.
3Universidade Federal da Campina Grande UFCG, Unidade Acadêmica de Engenharia Elétrica UAEE, Av. Aprígio
Veloso, 882, Bairro Universitário, CEP: 58429-140, Campina Grande PB, Brasil.
4Universidade Federal da Paraíba UFPB, Departamento de Engenharia Elétrica DEE, Cidade Universitária, João
Pessoa PB, Brasil.
Abstract. The techniques, methods and procedures for diagnosis of diseases, pathogens and contaminants in the field
of medicine, food industry and environmental monitoring, are normally carried out in laboratories of major
universities, companies and government agencies with a large associated cost. To minimize costs and increase the
efficiency of diagnostic equipment were built miniaturized analysis. The use of small samples of analyte (lower 2ml)
reduces the operating costs of the diagnosis, by virtue of chemical substances such as reagents and specific biomarkers
are imported to a generally high costs. A fundamental part of such equipment for clinical analysis are propulsion flow,
capable of delivering small amounts of sample to a flow rate sufficiently low and controlled. Thus this paper proposes
the development of a diaphragm micropump driven by a piezoelectric actuator for low cost and applying the principle
nozzle / diffuser with flow controlled to render the propulsion system flow for such a diagnostic device.
Keywords: Micro Pump, Diaphragm Pump, Piezoeletric Ceramics.
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Conference Paper
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This paper describes the design, fabrication and experimental results of a new, low cost, high-performance silicon micropump developed for a disposable drug delivery system. The pump chip demonstrates linear and accurate (±5%) pumping characteristics for flow rates up to 2 ml/h with intrinsic insensitivity to external conditions. The stroke volume of 160 nl is maintained constant by the implementation of a double limiter acting on the pumping membrane. The actuator is dissociated from the pump chip. The chip is a stack of three layers, two Pyrex wafers anodically bonded to the central silicon wafer. The technology is based on the use of SOI technology, silicon DRIE and the sacrificial etch of the buried oxide in order to release the structures. The result is a small size chip, suitable for cost-effective manufacturing in high volume. The micropump chip is integrated into the industrial development of a miniature external insulin pump for diabetes care
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A new valveless fluid pump has been designed and tested. The pump consists of two fluid diffuser/nozzle elements on each side of a chamber volume with an oscillating diaphragm. The vibrating diaphragm produces an oscillating chamber volume, which together with the two fluid-flow-rectifying diffuser/nozzle elements, creates a one-way fluid flow. A micropump prototype with a chamber diameter of 19 mm with conical diffuser/nozzle elements has been built and tested. The maximum liquid flow rate is 16 ml/min and the maximum pump pressure is 2 m H2O. The pump frequency is of the order of 100 Hz.
Article
This paper briefly overviews progress on the development of MEMS-based micropumps and their applications in drug delivery and other biomedical applications such as micrototal analysis systems (μTAS) or lab-on-a-chip and point of care testing systems (POCT). The focus of the review is to present key features of micropumps such as actuation methods, working principles, construction, fabrication methods, performance parameters and their medical applications. Micropumps have been categorized as mechanical or non-mechanical based on the method by which actuation energy is obtained to drive fluid flow. The survey attempts to provide a comprehensive reference for researchers working on design and development of MEMS-based micropumps and a source for those outside the field who wish to select the best available micropump for a specific drug delivery or biomedical application. Micropumps for transdermal insulin delivery, artificial sphincter prosthesis, antithrombogenic micropumps for blood transportation, micropump for injection of glucose for diabetes patients and administration of neurotransmitters to neurons and micropumps for chemical and biological sensing have been reported. Various performance parameters such as flow rate, pressure generated and size of the micropump have been compared to facilitate selection of appropriate micropump for a particular application. Electrowetting, electrochemical and ion conductive polymer film (ICPF) actuator micropumps appear to be the most promising ones which provide adequate flow rates at very low applied voltage. Electroosmotic micropumps consume high voltages but exhibit high pressures and are intended for applications where compactness in terms of small size is required along with high-pressure generation. Bimetallic and electrostatic micropumps are smaller in size but exhibit high self-pumping frequency and further research on their design could improve their performance. Micropumps based on piezoelectric actuation require relatively high-applied voltage but exhibit high flow rates and have grown to be the dominant type of micropumps in drug delivery systems and other biomedical applications. Although a lot of progress has been made in micropump research and performance of micropumps has been continuously increasing, there is still a need to incorporate various categories of micropumps in practical drug delivery and biomedical devices and this will continue to provide a substantial stimulus for micropump research and development in future.
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A pump which delivers from 0·01 to 0·65 ml fluid per beat at a frequency of 10-80 beats per min is described. Consecutive discharges agree within 1·5% of the average. Pumping is achieved by rhythmically compressing an elastic tube which has one-way valves at either end. Compression is achieved by oil pressure and controlled by an electronic regulator. This pump surpasses other micropumps with regard to precision, lack of hemolysis and versatility of capacity, frequency and pressure profile.
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Nanofabrication is playing an ever increasing role in science and technology on the nanometer scale and will soon allow us to build systems of the same complexity as found in nature. Conventional methods that emerged from microelectronics are now used for the fabrication of structures for integrated circuits, microelectro-mechanical systems, microoptics and microanalytical devices. Nonconventional or alternative approaches have changed the way we pattern very fine structures and have brought about a new appreciation of simple and low-cost techniques. We present an overview of some of these methods, paying particular attention to those which enable large-scale production of lithographic patterns. We preface the review with a brief primer on lithography and pattern transfer concepts. After reviewing the various patterning techniques, we discuss some recent application issues in the fields of microelectronics, optoelectronics, magnetism as well as in biology and biochemistry.
Article
Jack S. Kilby, an engineering consultant based in Dallas, TX, is arguably one of the most important figures in late twentieth-century electrical history. Dr. Kilby here shares his perspective on the history of the semiconductor industry, a perspective that is unique because of his participation in the early development of the integrated circuit at Texas Instruments. He is widely recognized as one of the integrated circuit's co-inventors and subsequently participated in the building of the microelectronics manufacturing industry in the United States
A review of micropump
  • D J Laser
  • Santiago
Laser, D. J.; Santiago. A review of micropump. Journal of Micromechanics and Microengineering, v. 14, n. 6, p. 35-64, 2004.
Evaluation of mini/micro-pumps for micro-chem-lab
  • C C Wong
  • J H Flemming
  • D R Adkins
  • M A Plowman
Wong, C. C.; Flemming, J. H.; Adkins, D. R.; Plowman, M. A. Evaluation of mini/micro-pumps for micro-chem-lab. ASME Conference Proceedings, ASME, v. 2002, n. 36576, p. 477-485, 2002.