Patrón de haz de electrones.

Patrón de haz de electrones.

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En este trabajo se describe de manera general las condiciones de uso de una máquina evaporadora de la marca Balzers, modelo BA510A y un cañón de electrones de la marca Island e-Beam, modelo HVCEB-8. Se explica el proceso para realizar depósitos de dióxido de silicio sobre sustrato de vidrio F2, utilizando una razón de depósito de 3.0 Å/s. Se presen...